特氣管路系統中應該注意的五大部分
2021-08-16 15:35:00
電子特氣，以下簡稱特氣，是VLSI、液晶顯示設備、半導體發光器件和半導體材料的制造工藝中必不可少的基本支撐材料。其純度和清潔度直接影響著光電產品的質量、微電子元件的質量、集成度的具體技術指標和良率，從根本上限制了電路和器件的準確性。特氣管路系統是為保證特氣純度和安全穩定輸送的供氣系統。一起來和普萊斯特看看吧!
一、氣路系統常用器材
氣體鋼瓶、鋼瓶固定架、鋼瓶柜、鋼瓶接頭、金屬軟管、半自動切換裝置、一級減壓器、二級減壓器、焊接三通、焊接大小頭、卡套閥門、316L不銹鋼管道(BA、EP)、壓力表、可燃有毒氣體監測報警裝置等等。
二、集中供氣注意事項
集中供氣避免氣體混合的問題：將所有載氣氣瓶根據氣體性質分別集中在一個氣瓶間中，其中最主要是將會相互反應的氣體分開存貯，如易燃易爆氣體(如H2、天燃氣、乙炔等)與助燃氣體(如氧氣、氯氣)。
三、氣體監測報警系統安裝
氣體監測報警系統指針對環境、易燃爆、毒腐等氣體所定制的安全監控系統，通過氣體偵測器采集到信號傳遞至中控室電腦，或者直接傳遞至控制箱產生聲光報警，可以讓管理人員第一時間發現險情，防患于未然。整套系統可根據現場實際結合用戶需求深度定制，拓展為GMS和BMS系統。
四、氣體管道吹掃作用及方法
在系統安裝完畢投入使用前，應當用所輸送的高純凈氣體對輸配管路系統進行徹底的吹除。這樣不僅可以吹除由于安裝過程中不慎落入系統的粉塵粒子，而且也起著對管路系統的干燥作用，去除管壁甚至管材所吸留的部分含濕氣體。三種吹掃方式：抽空式、連續攻掃式、間斷吹掃式，可針對系統的不同的情況，采用一種或兩種方式同時應用。
五、特種氣體工藝系統的硬件需求
1、儲存、供氣的氣瓶柜(GC特氣柜)、氣瓶架(GR特氣架)。
2、氣體分配用閥門箱(VMB)、閥門盤(VMP)。
3、輔助氮氣吹掃系統。
4、尾氣處理設備(Local Scrubber)。
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